激光蝕刻技術(shù)技術(shù)原理

激光蝕刻的基本原理是將高光束質(zhì)量的小功率激光(一般為紫外線激光、光纖激光)聚焦在極小的光點上，在焦點上形成高功率密度，使材料瞬間蒸發(fā)，形成孔、槽、槽，形成極小的功率密度。激光微納切割、切割、腐蝕、鉆孔等工藝。

激光蝕刻技術(shù)技術(shù)特征

以激光非接觸方式加工，高柔性、高速、無噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦至激光波長級的極小光斑等，在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質(zhì)量方面，尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，尤其是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用為“光化學(xué)作用”

激光刻蝕技術(shù)的典型應(yīng)用

1）薄膜激光刻蝕應(yīng)用

好處：

再現(xiàn)性好，功率大，材料去除速度快，無化學(xué)腐蝕污染。ITO涂層激光刻蝕機是利用激光在ITOGlass和ITOFilm表面表面進(jìn)行ITO涂層刻蝕的精密設(shè)備。能在玻璃、PET、ITO鍍膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上進(jìn)行各種不同尺寸的高精度、高速刻蝕，可加工多種規(guī)格的電極。特別適合手機觸摸屏的電極蝕刻技術(shù)。

玻璃激光蝕刻技術(shù)，ITO。

2)太陽能電池激光劃片

好處：

整體結(jié)構(gòu)合理，切割速度快，精度高，功能齊全，性能指標(biāo)穩(wěn)定可靠，故障率低，非接觸加工成品率高，適用范圍廣。

簡單易行，24小時長時間連續(xù)工作，節(jié)能環(huán)保。

利用圖形化用戶界面(GUI)，人機界面友好，能實時顯示切割軌跡，操作簡單、直觀。

可選的圖像自動識別處理及定位功能。

太陽電池是一種利用光電效應(yīng)或光化效應(yīng)將能量直接轉(zhuǎn)換為電能的裝置。薄膜太陽能電池生產(chǎn)工藝:基底(TCO導(dǎo)電玻璃)-玻璃磨邊-玻璃清洗-1064激光刻劃-二次清洗-夾具加熱預(yù)熱-PECVD沉積非晶硅薄膜-冷卻夾具-635激光刻劃-PVD磁控濺射-635激光刻劃-測試-老化-激光清洗-三次清洗-焊接極線-層壓-安裝框架。用于薄膜太陽能電池的激光劃片，熱影響面積小，劃線質(zhì)量好。采用無觸點加工方法避免了刀片加工中產(chǎn)生的應(yīng)力，可有效地提高硅片改片的優(yōu)等品率，同時也使電池片劃線質(zhì)量得到了很大的提高。可選配置CCD圖像處理系統(tǒng)，實現(xiàn)特殊規(guī)格電池片的精密劃線。

3)激光打磨。

好處：

綠色環(huán)保，無需任何化學(xué)藥品及清潔劑。

無觸點清潔，無機械力，不變形，效率高，節(jié)省時間。

可以實現(xiàn)常規(guī)清洗無法達(dá)到的清潔效果。

也可以有選擇地清洗材料表面的污染物，而不會損害材料表面。

激光具有快速無污染的特點，通過專用控制軟件界面友好，可以同時完成多種激光工作。適用于非晶硅薄膜太陽電池板周圍鍍膜的絕緣、清除和清洗。

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